Wafer EFEM
Foup Opener를 이용하여 Processing System 까지 Transfer해주는 설비로써 Clean Robot를 이용하여
정확성과 안정성을 높인 설비임.

Specification
- Project Name: LCOS SYSTEM/ UNLOADER
- Dimension : 1600L X 650W X 1920H
- Wafer Spec : 200mm~300mm(Glass, Silicon)
- Robot Type : Single Arm ROBOT (ATM)
- Utility
Power : 200V 1Φ, 15A, 3,3KW
Air : 5Kg/cm2
Vacuum Air : 500mmHg Over
Communication: LAN or Serial

Foup
본 제품은 300mm Wafer를 Foup에서 Process Chamber 안으로 공급하기 위한 Loading System 입니다.

Specification
1. Size : 542W x 964D x 1280H(mm)
2. Port : 1 ~2대
3. 표준 loader Port로는 대응이 어려운 환경에 적합하며, 사용 온도가 80°C 까지 가능하며 Furnace Loader 에
            주로 사용됨.