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Foup Opener Load Port
300mm Wafer를 Foup에서 Process Chamber안으로 공급하지 위한 Loading System 입니다.
Specification
- Size : 542W x 964L x 1280H
- Port : 1 ~2대
- 특징 : 표준 loader Port 로는 대응이 어려운 환경에 적합하며 사용 온도가 80도 까지 가능하며 Furnace Loader에 주로 사용됨.
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Wafer EFEM
Foup Opener를 이용하여 Processing System 까지 Transfer해주는 설비로써 Clean Robot를 이용하여 정확성과 안정성을 높인 설비임.
Specification
- SYSTEM NEME : LCOS SYSTEM / UNLOADER
- SYSTEM OUT DIM : 1600L X 650W X 1920H
- WAFER SPEC, GLASS AND SILICON
- BOTOT TYPE : SINGLE ARM ROBOT (ATM)
- UTILITY SOURCE
- POWER : 200V 1Φ, 15A, 3,3KW
- AIR UTIL : PRESSURE 5Kg/cm2 VACUUM 500mmHg OVER
- COMMUNICATION : LAN or SERIAL
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Wafer Indexer
Wafer Cassette 를 Processing 장비 까지 Transfer 해 주는 장비이며
200mm ~ 300mm 까지 적용가능하다.
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